JW3L.5
Laser-Actuated Sealing for Microfabricated Alkali Vapor Cells
Presenter: Vincent Maurice,
Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, Univ. Polytechnique Hauts-de-France, UMR 8520 - IEMN - Institut d’Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie,,
France
We report on a novel way of realizing microfabricated alkali vapor cells for miniature atomic devices. Reminiscent of the well-established glass-blowing techniques, it consists in implementing “make-seal” and “break-seal” features -commonly found in cell filling setups- within microfabricated devices. We show how single-use sealing structures can be laser-actuated, either to hermetically isolate cavities from each other, or to connect them together. We discuss some use cases in atomic devices.Authors: Vincent Maurice, Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, Univ. Polytechnique Hauts-de-France, UMR 8520 - IEMN - Institut d’Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie, / Linda Péroux, Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, Univ. Polytechnique Hauts-de-France, UMR 8520 - IEMN - Institut d’Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie, / Arthur Dewilde, Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, Univ. Polytechnique Hauts-de-France, UMR 8520 - IEMN - Institut d’Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie, / Andrei Mursa, FEMTO-ST Institute, Université de Franche-Comté, CNRS / Clément Carlé, FEMTO-ST Institute, Université de Franche-Comté, CNRS / Ravinder Chutani, Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, Univ. Polytechnique Hauts-de-France, UMR 8520 - IEMN - Institut d’Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie, / Samuel Queste, FEMTO-ST Institute, Université de Franche-Comté, CNRS / Jean-François Clément, Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, Univ. Polytechnique Hauts-de-France, UMR 8520 - IEMN - Institut d’Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie, / Rémy Vicarini, FEMTO-ST Institute, Université de Franche-Comté, CNRS / Abdelkrim Talbi, Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, Univ. Polytechnique Hauts-de-France, UMR 8520 - IEMN - Institut d’Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie, / Philippe Pernod, Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, Univ. Polytechnique Hauts-de-France, UMR 8520 - IEMN - Institut d’Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie, / Rodolphe Boudot, FEMTO-ST Institute, Université de Franche-Comté, CNRS / Nicolas Passilly, FEMTO-ST Institute, Université de Franche-Comté, CNRS